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定性和靈敏度的新疆界，

檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css 

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借絕佳環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。

通過結(jié)合較高氦氣吸氣能力和高進(jìn)氣口壓力的最佳真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的前所未有的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s，UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管。