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產(chǎn)品展示

PRODUCTS

惰性氣體和氫氣常溫凈化裝置

產(chǎn)品概況

◆雜質(zhì)去除至＜1 ppb

◆不需要加熱器或電源

◆室溫操作

◆316L SS（＜10 RA EP）管材

◆工廠(chǎng)可再生，壽命長(zhǎng)達(dá)10年

◆提高工藝設(shè)備性能

◆可選內(nèi)置0.003μm濾波器（PF版本）

◆ 高流量至2500 SLPM

◆底花費(fèi)

惰性氣體和氫氣常溫凈化裝置

產(chǎn)品概況

◆雜質(zhì)去除至＜1 ppb

◆不需要加熱器或電源

◆室溫操作

◆316L SS（＜10 RA EP）管材

◆工廠(chǎng)可再生，壽命長(zhǎng)達(dá)10年

◆提高工藝設(shè)備性能

◆可選內(nèi)置0.003μm濾波器（PF版本）

◆ 高流量至2500 SLPM

◆底花費(fèi)

詳情介紹

應(yīng)用場(chǎng)合

◆半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

◆高純焊接

◆惰性氣體凈化

◆氣瓶柜

◆氣體分析儀器

◆研究與開(kāi)發(fā)

凈化/過(guò)濾氣體清單
惰性氣體	氫和氫化物	腐蝕性氣體	氧氣
不純物去除 H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂¹ (N₂,CH₄)²	不純物去除 H₂O, O₂, CO_2, CO (N₂) ³	不純物去除 H₂O	不純物去除 H₂O, CO₂(H₂, CO, CH₄)⁴
Ar，Ar/CH₄ He，CH₄ Ne，CF₄ Kr，CCL₄ Xe，SF₆ N₂，Freons	H₂，As/H₃ Ar/H₂，PH₃ N₂/H₂，NH₃ SiH₄，B₂H₆ Si₂H₆，H₂Se D.C.S.，GeH₄	HBr HCl BCL₃ BF₃ CL₂ HF	O₂ Air N₂0

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