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飛擇科技新增氣體管路工程測試業(yè)務模塊

氣體管路主要是通各種特種氣體,需做測試項目有：保壓測試、氦檢測試、水分測試、氧分測試、顆粒測試。

1.保壓測試

1.1測試目的

確保管路輸送系統(tǒng)沒有明顯的泄漏，以便對管路系統(tǒng)進行氦測漏。

1.2測試工具   保壓儀

2．氦質(zhì)譜檢漏測試

2.1測試目的

  利用氦質(zhì)譜儀感測漏入系統(tǒng)中的微量的氦氣來測漏，并根據(jù)檢測到的氦氣的量來確定漏率的大小。                               

2.2測試儀器   氦質(zhì)譜檢漏儀

3．水分、氧分、顆粒檢測（三臺儀器并聯(lián)使用）

3.1測試目的和測試標準

水分檢測的目的主要是為了避免管道內(nèi)水含量過高時，會發(fā)生化學反應，對制程造成影響。

氧分檢測的目的主要是為了避免管道內(nèi)氧含量過高時，會發(fā)生化學反應，對制程造成影響。例如，芯片在生產(chǎn)過程中，原本大氣中O2會和Si產(chǎn)生化學反應:O2+Si=SiO2,為原始的氧化成，如果管道內(nèi)的氧含量過高，原始的氧化層會超出原本已經(jīng)計算好的厚度，如此會嚴重影響接下來各階段的制程。

顆粒檢測主要是檢測管道內(nèi)微粒子的粒徑大小和數(shù)量多少。如果管道內(nèi)微粒子過多會對Wafer良率影響很大。

檢測標準：

3.2測試儀器

     水分儀

     氧分儀

     顆粒儀