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Tigeroptics LLC是一種新的基于激光的痕量氣體分析儀，它揭示了一種重要的新功能，它能夠在超高純度氣流中檢測(cè)到痕量水分（H2O）降至100萬(wàn)億分之一（PPT）水平。

這種新的分析儀優(yōu)于過(guò)往的水分儀，它可以檢測(cè)各種散裝和特種氣體，運(yùn)用于半導(dǎo)體、MEMS、LED和顯示器制造。HALO KA Max提供了比其受稱(chēng)贊的、經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的前任產(chǎn)品更快的響應(yīng)，保留了同樣設(shè)計(jì)緊湊，畫(huà)面直觀、無(wú)需校準(zhǔn)、無(wú)需更換部件，這是因?yàn)槠鋸?qiáng)大的檢量原理----光腔衰蕩光譜法（CRD），因此儀器性?xún)r(jià)比非常高。

HALO KA Max將會(huì)展示在舊金山的西方半導(dǎo)體展會(huì)上，展會(huì)時(shí)間7月10日--7月12日。

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